半导体材料光刻胶国产化机遇分析报告( 67 页)

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目录

1. 光刻胶：泛半导体产业核心材料，高价值量&高壁垒 ...... 8

1.1. 光刻胶：泛半导体产业核心材料，半导体材料皇冠上的明珠 ............ 8

1.2. 光刻工艺&光刻胶——半导体摩尔定律发展核心驱动力 ............. 9

1.3. 光刻胶产业链：树脂&单体等原料、光刻胶成品——高价值&高壁垒 ........... 12

1.3.1. 全球光刻胶产业链：日本独占鳌头 ............. 12

1.3.2. 中国光刻胶产业链：上游布局不全，中游正在崛起 ....... 13

1.4. 光刻胶及配套化学品占半导体材料产值12% ....... 14

1.5. 技术&客户壁垒高，行业持续高盈利能力 ............ 15

1.6. EUV 光刻胶&电子束光刻胶：重要技术发展方向 ........ 16

2. 供需不匹配，IC、FPD 领域KrF、ArF 等光刻胶亟待国产化 .. 18

2.1. 市场规模测算：中国市场发展速度远高于全球，重心逐渐东移 ..... 18

2.2. PCB 领域光刻胶基本突破国产化 ............ 20

2.3. IC、FPD 领域KrF、ArF 等光刻胶对外依存度高，亟待国产化 .......... 21

3. 发展历史：起源美国，日本称霸，重视光刻胶+光刻机联动产业规律 .. 24

3.1. 美国占据先发优势，光刻胶发源地、实现产业化 ...... 24

3.2. 下游需求崛起，日本逐步垄断全球光刻胶产业链 ...... 25

3.3. 光刻胶&光刻机产业：协同发展 ............ 26

4. 国产化突围：把握成熟制程，核心材料一体化是关键，看好先发优势龙头 ......... 31

4.1. 下游需求旺盛：面板制造产能向大陆聚集，半导体成熟制程扩产显著 ......... 31

4.1.1. 面板制造：LCD 面板产能向大陆聚集 ........ 31

4.1.2. 半导体：成熟制程扩产显著，28nm 等技术将在国内供需链迎来窗口爆发期..... 33

4.2. 上游核心材料&设备是全产业链自主可控薄弱环节，日本限制光刻胶供货提供国产化催化剂 ........ 36

4.2.1. 华为&中芯国际被制裁——高端半导体工艺“卡脖子” ........ 37

4.2.2. 日本光刻胶大厂限制供货，多家晶圆厂KrF 光刻胶供应紧张，全产业链自主可控刻不容缓，国产化加速 ............ 37

4.3. 产业链抱团发展，加快产品导入、规模量产、新技术研发 ..... 38

4.3.1. 复盘ASML 创新生态系统：生产高度分工，上下游协同发展，完成技术跃迁..... 38

4.3.2. 复盘华为供应链国产替代：终端厂商加速培养上游产业集群，设计领域实现戴维斯双击......... 40

4.3.3. 复盘日本光刻胶产业逻辑：紧抓下游需求，高度分工协作，建立光刻胶产业集群 ............. 40

4.4. 树脂&光引发剂、光刻胶成品，核心材料一体化是自主可控关键，看好先发龙头优势 ............. 42

5. 投资机会 ......... 45

5.1. 雅克科技：并购布局面板&IC 光刻胶，募投项目加码高端市场...... 45

5.2. 华懋科技：投资半导体光刻胶龙头徐州博康，半导体光刻胶一体化优势显著 .... 46

5.3. 彤程新材：特种橡胶助剂龙头，收购北京科华+北旭电子，打造半导体&FPD 光刻胶平台 ........ 49

5.4. 晶瑞股份：中端光刻胶进口替代创造成长空间 .......... 51

5.5. 上海新阳：光刻胶产品进入客户验证阶段，定增助力KrF 厚膜&干式ArF 光刻胶实现量产 ........ 53

5.6. 南大光电：02 专项ArF 光刻胶研发顺利结项，募投配合实现产业化 ............ 55

5.7. 飞凯材料：紫外固化和电子化学品龙头，TFT-LCD 光刻胶产能待释放 ......... 56

6. 附录 ........ 59

6.1. 全球光刻胶龙头JSR 成长历史 ....... 59

6.2. 陶氏杜邦/新杜邦：全球化学品领军，光刻胶领域优势企业 ............ 63

6.3. 群荣化学：光刻胶上游酚醛树脂龙头 ........... 65

图表目录

图1：光刻胶的应用流程 .......... 8

图2：IC 行业：半导体光刻工艺流程图 ........ 9

图3：LCD 面板行业：滤光片光刻工艺流程 ......... 9

图4：1971-2019 年晶体管数量遵循摩尔定律不断上升 ............. 9

图5：集成电路的微观结构 ..... 9

图6：曝光波长与光刻技术发展的关系 ....... 10

图7：不同光刻胶与芯片制程对应关系 ....... 11

图8：IC 制造中逻辑器件的技术节点和所需光刻工艺的对应关系 ......... 11

图9：全球光刻胶产业链图谱 ....... 12

图10：全球光刻胶上游原材料生产厂商地区分布 ............. 12

图11：光刻胶上游原材料国内厂商 ..... 12

图12：全球光刻胶市场份额情况 ......... 13

图13：2019 年全球半导体光刻胶市场份额 ....... 13

图14：国内光刻胶产业链布局情况 ..... 13

图15：光刻胶是半导体产业链中的重要材料 ............. 14

图16：半导体材料分类占比 .......... 14

图17：2019 年全球半导体材料销售占比 ............ 15

图18：全球半导体材料销售额（单位：亿美元） ............. 15

图19：全球光刻胶研制专利分布 ......... 16

图20：光刻胶认证基本流程 .......... 16

图21：上海新阳光刻胶项目效益测算 ......... 16

图22：全球EUV 光刻胶市场规模（万美元） ............ 17

图23：全球EUV 光刻胶市场格局 ........ 17

图24：电子束光刻机RAITH150 Two 应用......... 17

图25：全球光刻胶市场规模（亿美元） ............. 18

图26：中国光刻胶市场规模（亿元） ......... 18

图27：全球半导体光刻胶市场规模（亿美元） ......... 18

图28：中国PCB 行业产值（亿美元） ........ 19

图29：LCD 彩色滤光片制作示意图 ..... 19

图30：全球面板光刻胶市场规模（亿美元） ............. 20

图31：全球光刻胶市场结构 .......... 20

图32：中国本土光刻胶市场结构 ......... 20

图33：全球KrF 光刻胶市场份额 .......... 22

图34：全球ArF 光刻胶市场份额 .......... 22

图35：北京科华部分光刻胶产品 ......... 23

图36：苏州瑞红部分光刻胶产品 ......... 23

图37：光刻胶发展历程 .......... 24

图38：光刻胶产业转移历史 .......... 24

图39：美国、日本光刻胶代表公司营收情况 ............. 25

图40：美国、日本光刻胶代表公司毛利率情况 ......... 25

图41：日本光刻产业崛起示意图 ......... 25

图42：全球光刻胶主要企业 .......... 26

图43：光刻工艺流程...... 27

图44：光刻机示意图...... 27

图45：光刻机产业转移历史 .......... 27

图46：ASML 成功要素 ........... 28

图47：2019 年光刻机主要企业出货量/台 .......... 28

图48：ASML 营收及增速/亿美元 ......... 28

图49：国内光刻胶生产企业数量分布/个（截至2019 年5 月） ............ 29

图50：全球面板产能转移趋势 ..... 31

图51：全球各国家及地区面板产能预测 ............. 31

图52：2019-2022E 全球 TV 面板厂规划和进展 ..... 33

图53：中国&全球半导体销售额........... 33

图54：2004-2019 年中国集成电路产业三大细分环节销售额（单位：亿元） ............ 33

图55：8 英寸（200mm）晶圆的产能展望........ 35

图56：全球晶圆厂与中国的半导体设计公司的合作情况（2019 年） .......... 35

图57：SMIC2019 及2020 年不同制程营收对比 ........ 35

图58：半导体产业链...... 36

图59：华为重要供应商全球分布 ......... 37

图60：ASML 的创新生态系统 ...... 38

图61：圣邦股份单季营收及同比增速 ......... 40

图62：圣邦股份单季归母净利润及同比增速 ..... 40

图63：圣邦股份股价走势 ..... 40

图64：日本光刻胶产业集群（部分上游企业概览） ........ 41

图65：日本光刻胶龙头企业研发支出占比 ......... 41

图66： EUV 光刻胶领域主要申请人专利数量 ........... 41

图67：中日主要光刻胶企业2019 年营收/亿元 ......... 43

图68：中日主要光刻胶企业员工数量/人（截止2019 年末） ........ 43

图69：EUV 光刻胶全球专利申请量势态 ............. 44

图70：EUV 光刻胶领域主要申请人专利数量 ............. 44

图71：雅克科技历史沿革 ..... 45

图72：2015-2020Q3 雅克科技营业收入情况（亿元）............ 45

图73：2015-2020Q3 雅克科技归母净利润（亿元） ....... 45

图74：雅克科技毛利率及净利率（%） ....... 46

图75：雅克科技2020 年业务构成....... 46

图76：华懋科技2016-21Q1 营业总收入及同比增速 ...... 47

图77：华懋科技2016-21Q1 归母净利润及同比增速 ...... 47

图78：华懋科技2016-21Q1 销售毛利率和净利率 ........... 47

图79：华懋科技汽车安全气囊布产品展示 ......... 47

图80：徐州博康2020 年1-9 月营收结构 .......... 48

图81：徐州博康专利技术（部分） ..... 48

图82：徐州博康主营业务收入和净利润（亿元） ............. 48

图83：徐州博康生产中心二期工程 ..... 48

图84：彤程新材2016-21Q1 营业总收入及同比增速 ...... 50

图85：彤程新材22016-21Q1 归母净利润及同比增速 ............. 50

图86：彤程新材2016-21Q1 销售毛利率和净利率 ........... 50

图87：彤程新材21Q1 产品收入结构 .......... 50

图88：北京科华微电子DUV 光刻胶产品KMP DK3050 ........... 51

图89：北京科华2019 及2020 年营收和归母净利润/万元 ..... 51

图90：北旭电子主要产品 ..... 51

图91：北旭电子营收和利润总额/亿元 ....... 51

图92：晶瑞股份主要产品 ..... 51

图93：晶瑞股份2016-21Q1 营业总收入及同比增速 ...... 52

图94：晶瑞股份2016-21Q1 归母净利润及同比增速 ...... 52

图95：晶瑞股份2016-21Q1 销售毛利率和净利率 ........... 52

图96：晶瑞股份2020 年产品收入结构 ...... 52

图97：上海新阳2016-21Q1 营业总收入及同比增速 ...... 53

图98：上海新阳2016-21Q1 归母净利润 ........... 53

图99：上海新阳2016-21Q1 销售毛利率和净利率 ........... 54

图100：上海新阳2020 年产品收入结构 ............. 54

图101：募投项目预计进程 ............ 54

图102：南大光电2016-21Q1 营业总收入及同比增速 ............. 55

图103：南大光电2016-21Q1 归母净利润及同比增速 ............. 55

图104：南大光电2016-21Q1 销售毛利率和净利率 ........ 55

图105：南大光电2020 年产品收入结构 ............. 55

图106：“ArF 光刻胶开发和产业化项目”项目营收预测/万元 ..... 56

图107：飞凯材料主要产品 ............ 57

图108：飞凯材料2015-21Q1 营收和净利润（亿元） ............. 57

图109：飞凯材料2015-2020 年研发支出及占营收比例 ......... 57

图110：飞凯材料2015-21Q1 销售毛利率和净利率 ........ 57

图111：飞凯材料2020 年产品收入结构 ............. 57

图112：JSR 发展历程..... 59

图113：JSR 主营业务介绍 ............. 59

图114：JSR 光刻胶业务发展历程 ........ 60

图115：FY2011-2020 JSR 营业总收入和同比增速 ............ 60

图116：FY2011-2020 JSR 利润和同比增速 ........ 60

图117：FY2011-2020 JSR 销售毛利率和净利率 ........ 60

图118：FY2011-2020 JSR 经营活动现金流量/亿日元 ...... 60

图119：FY2020 产品营收结构 ..... 61

图120：FY2020 产品利润结构（单位：100Mil JPY） ...... 61

图121：JSR 数字解决方案市场图 ........ 61

图122：FY2019、FY2020 数字解决方案业务营收拆分............. 62

图123：FY2020 数字解决方案业务营收拆分 ..... 62

图124：JSRFY2019-FY2024 数字解决方案业务规划 ........ 62

图125：陶氏杜邦分拆 ............ 63

图126：杜邦公司近几年业绩情况（亿美元） ........... 63

图127：新杜邦2020 年产品结构 ......... 63

图128：新杜邦电子与成像业务产品结构 ........... 63

图129：群荣化学（GCI）全球生产基地布局 ............. 65

图130：FY2016-FY2020 群荣化学销售净额 ...... 66

图131：FY2016-FY2020 群荣化学归母净利润及利润率 .......... 66

图132：群荣化学FY2019、FY2020 分部门营收（单位：百万日元） ........... 66

表1：光刻胶主要成分 ..... 8

表2：光刻胶按照下游应用分类 ..... 8

表3：IC 集成度与光刻技术发展历程 ........... 10

表4：主要的光刻胶体系 ........ 11

表5：国内光刻胶制造厂商 ............ 14

表6：PCB 光刻胶国产化现状........ 21

表7：2019 年中国半导体光刻胶行业企业布局情况 ......... 22

表8：中国光刻胶产业代表企业“北京科华”发展历程........... 29

表9：全球主要面板厂商高世代线汇总（产能单位：百万平米） .......... 32

表10：国内在建成熟制程晶圆产能 （千片/月）..... 34

表11：2017 中国大陆 8 英寸晶圆代工产能及 2021 年目标产能（单位：千片/月） .... 35

表12：ASML 股权&并购投资 ....... 39

表13：国内外光刻胶专利申请量前3 企业/组织 ....... 44

表14：雅克科技募投资金情况（万元） ............. 46

表15：徐州博康旗下汉拓光学产品梳理 ............. 47

表16：公司光刻胶产销情况 .......... 52

表17：苏州瑞红部分光刻胶产品 ......... 53

表18：南大光电募投资金情况（万元） ............. 56

表19：FY2020 数字解决方案业务具体产品营收YoY ....... 62

表20：新杜邦部分干膜光刻胶产品及产品优势 ......... 64

表21：群荣化学公司大事记（部分） ......... 65