半导体设备零部件行业发展分析( 40 页)

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目录

1. 半导体设备零部件市场空间广阔，美国BIS 新规加速国产替代 ....... 5

1.1. 半导体设备零部件市场空间广阔 ....... 5

1.2. 美日欧厂商主导全球半导体设备零部件市场 ..... 6

1.3. 美国BIS 新规加速半导体设备零部件国产替代...... 7

2. 半导体设备零部件种类多、壁垒高、细分领域集中度高 ...... 7

2.1. 半导体设备零部件是半导体设备的核心 .... 7

2.2. 半导体设备零部件种类繁多、美日欧厂商占据主要细分领域 ..... 8

2.2.1. 石英制品：市场规模超过200 亿，海外厂商主导 ...... 10

2.2.2. 射频电源：美国两大巨头占据主要市场份额 ..... 13

2.2.3. 真空泵：海外厂商占据90%以上市场份额 .... 13

2.2.4. 阀：欧美日厂商统治市场，VAT 占近半壁江山 ...... 15

2.2.5. 静电吸盘：美日厂商垄断市场 ...... 16

2.2.6. 机械手：日美企业主导市场...... 18

2.3. 半导体设备零部件行业技术壁垒高、客户粘性强 .... 20

2.3.1. 技术壁垒 ..... 20

2.3.2. 客户认证壁垒 ...... 23

2.4. 技术壁垒高的半导体设备零部件国产化程度低 .... 24

3. 国内半导体设备零部件厂商国产替代正当时，未来成长空间巨大 ...... 25

3.1. 国外半导体设备零部件龙头厂商成长路径 ....... 25

3.2. 国内半导体设备零部件厂商国产替代正当时，未来成长空间巨大 .... 26

4. 投资建议 .... 27

4.1. 富创精密 ....... 28

4.2. 新莱应材 ....... 30

4.3. 华亚智能 ....... 33

4.4. 江丰电子 ....... 35

4.5. 正帆科技 ....... 38

图表目录

图1：1999-2022 年全球半导体市场规模预测 ...... 5

图2：2011-2022 年全球半导体设备市场规模预测 ....... 6

图3：半导体设备零部件示意图 .... 8

图4：半导体设备零部件产业链 .... 8

图5：阿斯麦光刻机总体结构.... 9

图6： 2020 年中国大陆晶圆厂采购半导体设备零部件品类占比 ....... 10

图7： 半导体石英制品 ....... 11

图8： 石英制品产业链 ....... 11

图9： 2012-2021 全球半导体石英制品市场规模情况 ....... 12

图10： 2021 年中国石英制品市场竞争格局情况 ...... 12

图11：Advanced Energy 射频电源 .... 13

图12：射频电源发展史 ...... 13

图13：近6 年MKS Instrument 半导体业务收入情况 .... 13

图14：近6 年Advanced Energy 半导体业务收入情况 ..... 13

图15：Edwards 真空泵RV3 ...... 14

图16：真空泵在半导体领域的典型工艺环境应用 ...... 14

图17： 2017-2022 年全球半导体真空泵市场规模情况 ..... 14

图18： 2021 年全球半导体真空泵市场竞争格局 ...... 15

图19： VAT 真空阀 .... 15

图20：2016-2027 全球半导体阀市场规模情况 ...... 16

图21：2021 年全球半导体阀市场地区分布情况 .... 16

图22： 2020 年全球半导体阀市场竞争格局 ...... 16

图23：海拓创新静电吸盘产品 ....... 17

图24：静电吸盘在半导体工艺过程中应用示意图 ...... 17

图25：京瓷静电吸盘产品及参数 .... 17

图26：静电吸盘三层结构示意图 .... 17

图27： 2017-2028 年全球静电吸盘市场规模情况 .... 18

图28： 2021 年全球静电吸盘市场竞争格局情况 ...... 18

图29：新松真空机械手PHOENIX PLUS B 系列 ....... 19

图30：JEL 机械手搬送晶圆示意图 .... 19

图31： 2016-2027 年全球半导体机械手市场规模情况 ..... 19

图32： 2020 年全球半导体机械手厂商地区分布情况 ....... 20

图33：射频电源内部结构 ....... 22

图34：射频放大器主要参数 ....... 22

图35：Advanced Energy APEX 射频电源技术指标....... 22

图36：新松真空机械手ARCHER 系列产品 ...... 23

图37：新松真空机械手ARCHER 系列主要参数 ...... 23

图38：Edwards 半导体真空泵iXH 系列产品 ..... 23

图39：VAT 真空门阀产品技术指标 .... 23

图40：国际半导体设备客户认证流程..... 24

图41：2011-2022 年中国半导体设备市场规模情况 ....... 27

图42：2014-2021 年国产半导体设备销售额情况 ...... 27

图43：公司发展历程 ...... 28

图44：公司主要产品 ...... 29

图45：2021 年公司产品应用领域占比情况.... 29

图46：2021 年公司产品结构占比情况 ....... 29

图47：公司近五年营业收入情况 .... 30

图48：公司近五年净利润情况 ....... 30

图49：公司近五年毛利率情况（%） ..... 30

图50：公司近五年净利率情况（%） ..... 30

图51：公司主要产品及应用领域情况..... 31

图52：22H1 公司产品应用领域占比情况....... 31

图53：22H1 公司产品结构占比情况 ...... 31

图54：公司近五年营业收入情况 .... 32

图55：公司近五年净利润情况 ....... 32

图56：公司近五年毛利率和净利率情况（%） ...... 32

图57：公司近五年下游应用领域毛利率情况（%） ....... 32

图58：公司主要产品情况 ....... 33

图59：公司主要客户情况 ....... 34

图60：22H1 公司主要产品占比情况 ...... 34

图61：21H1 公司下游结构占比情况 ...... 34

图62：公司2016-2022 年营业收入情况 .... 35

图63：公司2016-2022 年净利润情况.... 35

图64：公司2016-2022 年毛利率情况（%） ..... 35

图65：公司2016-2022 年净利率情况（%） ..... 35

图66：公司主要产品情况 ....... 36

图67：22H1 公司主要产品占比情况 ...... 36

图68：22H1 国内外收入占比情况...... 36

图69：公司2016-2022 年营业收入情况 .... 37

图70：公司2016-2022 年净利润情况.... 37

图71：公司2016-2022 年毛利率情况（%） ..... 37

图72：公司2016-2022 年净利率情况（%） ..... 37

图73：公司主要产品情况 ....... 38

图74：2021 年公司下游行业占比情况 ....... 38

图75：2021 年公司主要产品占比情况 ....... 38

图76：公司2016-2022 年营业收入情况 .... 39

图77：公司2016-2022 年净利润情况.... 39

图78：公司2016-2022 年毛利率情况（%） ..... 39

图79：公司2016-2022 年净利率情况（%） ..... 39

表1：2021 年国内主要半导体设备厂商直接材料占比情况 ...... 6

表2：2020 年全球半导体设备零部件前10 大供应商情况.... 7

表3：半导体设备零部件分类.... 9

表4：富创精密机械类金属工艺件和金属结构件技术参数指标 ...... 21

表5：石英制品技术参数指标...... 21

表6：2021Q1 部分半导体设备零部件供应商及国产化率情况 ....... 24

表7：国外主要半导体设备零部件厂商情况 .... 25

表8：国内主要半导体设备零部件厂商情况 .... 26