电子气体行业分析报告( 55 页)

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目录

1 电子特气：现代工业之基石，晶圆制造之“血液” ....... 3

1.1 电子气体：现代工业的原料基石 .... 3

1.2 电子气体的三种分类方式 ..... 3

1.3 电子特气在集成电路中的应用解析 .... 7

1.4 从电子气体的生产流程看技术壁垒 ...... 12

1.5 电子气体的四种供应模式 ....... 15

1.6 电子气体壁垒总结 ....... 17

2 全球竞争格局：寡头垄断下的突围序幕 ..... 19

2.1 市场规模：全球放缓，需求东扩 ...... 19

2.2 竞争格局：外资垄断，国产崛起 ...... 21

3 海外龙头发展：探寻气体龙头崛起之路 ..... 24

3.1 林德集团：领先全球的电子气体供应商 ...... 24

3.2 液化空气：持续收购扩大市场，丰富产品线 ...... 26

3.3 空气化工：通过技术创新开拓市场 ...... 28

3.4 海外龙头解析：探寻气体龙头崛起之路 ...... 30

4 国产替代机遇：踏出自主可控千里硅步 ..... 33

4.1 国内特气市场寡头垄断明显，替代空间可观 ...... 33

4.2 国产替代势在必行，亟需实现自主创新 ...... 33

5 投资建议 ...... 35

插图目录

图1： 电子气体产业链上下游 ....... 3

图2： 电子特种气体是晶圆制造关键性材料 ...... 7

图3： 各种电子气体在晶圆制造中的作用及过滤控制...... 8

图4： 刻蚀工艺中电子气体的使用流程....... 9

图5： 不同类型的刻蚀反应 ....... 9

图6： 扩散掺杂工艺 ...... 10

图7： 离子注入机之磁分析器结构简图..... 10

图8： 掺杂的过程 ...... 10

图9： 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程 .... 11

图10： 光刻工艺中电子气体的使用流程 ...... 11

图11： 特种气体的工艺流程图 ....... 12

图12： 特种气体合成工艺 ....... 13

图13： 特种气体混配工艺 ....... 14

图14： 特种气体充装工艺 ....... 14

图15： 特种气体检测工艺 ....... 15

图16： 电子气体行业供应模式与流程 ...... 15

图17： 瓶装供气 .... 16

图18： 液态（储槽）供气 ....... 16

图19： 现场供气 .... 17

图20： 管道供气 .... 17

图21： 2017-2024E 全球电子特气市场规模预测（亿美元） ..... 19

图22： 2017-2024E 中国电子特气市场规模预测（亿元） ..... 19

图23： 2021 年中国电子特气下游应用 .... 20

图24： 2020 年半导体制造产业的材料市场占比 ....... 20

图25： 2017-2025 年中国电子大宗气体市场规模预测（亿元） ....... 21

图26： 2017-2022 年中国外包供气市场占比预测（%） .... 21

图27： 2020 年全球电子气体竞争格局 .... 22

图28： 2020 年中国电子特气竞争格局 .... 22

图29： 半导体材料国产化进程 ....... 23

图30： 林德集团发展历程 ....... 24

图31： 林德集团电子领域主要产品 ...... 25

图34： 2021 年林德集团区域营收占比 .... 26

图35： 2021 年林德集团下游营收结构占比分布 ....... 26

图36： 液化空气发展历程 ....... 26

图37： 液化空气电子领域主要产品 ...... 27

图38： 2017-2022H1 液化空气营收净利（亿欧元） ...... 27

图39： 2017-2021 年液化空气毛利率和净利率 .... 27

图40： 2021 年液化空气区域营收占比 .... 28

图41： 2021 年液化空气在亚太地区下游营收分布占比 ....... 28

图42： 空气化工发展历程 ....... 28

图43： 空气化工电子领域业务概况 ...... 29

图44： 2018-2022 财年空气化工营收净利（亿美元） .... 29

图45： 2018-2022 财年空气化工毛利率和净利率 .... 29

图46： 2021 年空气化工分区域部门营收占比 ....... 30

图47： 2021 年空气化工主营构成-产品占比 ...... 30

图48： 工业龙头的发展路径 ....... 31

图49： 空气化工的产品应用和技术 ...... 31

图50： 林德集团的收购历程 ....... 32

图51： 2017-2023 年中国电子特气市场规模及增速（亿元） ....... 33

图52： 华特气体发展历程图 ....... 36

图53： 2017-2022Q3 华特气体业绩情况（亿元） ...... 37

图54： 2019-2021 年华特气体特气营收毛利率（亿元） ....... 37

图55： 2019-2021 年华特气体不同业务营收（亿元） .... 38

图56： 2019-2022H1 华特气体不同业务毛利率 ....... 38

图57： 凯美特气发展历程图 ....... 40

图58： 2017-2022Q3 凯美特气业绩情况（亿元） ...... 41

图59： 2018-2022H1 凯美特气分产品收入结构（亿元） ...... 41

图60： 2018-2021 年凯美特气液体二氧化碳业务营收、毛利率（亿元） ...... 41

图61： 2019-2022Q3 南大光电业绩情况（亿元） ...... 43

图62： 2019-2022H1 南大光电特气业务经营情况（亿元） ...... 43

图63： 2017-2022H1 南大光电分业务营收（亿元） ...... 43

图64： 2020-2022H1 南大光电分业务毛利率 ....... 43

图65： 2017-2022Q3 雅克科技业绩情况（亿元） ...... 45

图66： 2018-2022H1 雅克科技电子特气产品营收（亿元） ...... 45

图67： 2019-2022H1 派瑞特气业绩情况（亿元） ...... 47

图68： 2019-2022H1 派瑞特气业务营收情况（亿元） ...... 47

图69： 2019-2022H1 特气业务营收毛利率（亿元） ...... 48

图70： 2019-2022H1 派瑞特气收入结构占比 ....... 48

图71： 2018-2022Q3 金宏气体业绩情况（亿元） ...... 49

图72： 2018-2021 金宏气体特气营收毛利率（亿元） .... 49

图73： 2017-2021 年金宏气体不同产品营收（亿元） .... 50

图74： 2017-2021 年金宏气体不同业务毛利率 .... 50

图75： 上海新微项目 ....... 52

图76： 浙江创芯项目 ....... 52

表格目录

表1： 不同用途电子气的分类 ....... 4

表2： 常见的电子特种气体应用场景 ....... 4

表3： 常见的电子大宗气体应用场景 ....... 5

表4： 不同应用领域电子气体的分类 ....... 5

表5： 电子气体在下游领域的成本占比情况 ...... 6

表6： 不同气体组分电子气体的分类 ....... 6

表7： 常见的电子特种气体 ..... 13

表8： 电子气体纯度要求...... 18

表9： 全球市场规模排名前十的电子特种气体 .... 20

表10： 国内企业及细分气体替代情况 ...... 22

表11： 中国特种气体企业主要产品及营收情况 ...... 34

表12： 电子特种气体行业重点关注个股 ...... 35

表13： 华特气体主营业务及产品 ....... 37

表14： 华特气体盈利预测与财务指标 ...... 39

表15： 凯美特气主要产品及应用 ....... 40

表16： 南大光电主营业务及产品 ....... 42

表17： 南大光电电子特气营收情况和产能情况 ...... 44

表18： 雅克科技主营业务及产品 ....... 44

表19： 雅克科技电子特气主要产品产能情况 ...... 46

表20： 雅克科技盈利预测与财务指标 ...... 46

表21： 派瑞特气气体分类及用途 ....... 46

表22： 金宏气体主营业务及产品 ....... 48

表 23： 金宏气体盈利预测与财务指标 ...... 51