阀门行业分析报告( 27 页)

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目 录

引言 .... - 4 -

1、真空阀：真空系统核心零部件，瑞士VAT 主导市场...... - 6 -

1.1、真空阀：真空系统核心零部件，主要起隔离/控制/传输作用 ..... - 6 -

1.2、真空阀要求严苛，瑞士VAT 主导市场 ...... - 9 -

1.3、国际龙头梳理 ..... - 11 -

1.3.1、瑞士VAT 公司 ..... - 11 -

2、流体系统阀门：流体系统核心元件，美厂占据重要地位 ..... - 12 -

2.1、半导体工艺设备供气和气路系统中广泛应用的关键元件 ...... - 12 -

2.2、流体系统阀门要求更显严苛，美国厂商占据重要地位 ...... - 16 -

2.3、全球龙头厂商梳理 ..... - 18 -

2.3.1、Swagelok ...... - 18 -

2.3.2、Fujikin ....... - 19 -

3、国产替代紧迫性凸显，优质厂商有望突破放量 ..... - 20 -

3.1、国产设备厂商成长空间巨大，零部件国产替代正当时 ...... - 20 -

3.2、半导体阀门国产替代方兴未艾，尤其流体阀门国产化空间极大 ...... - 21 -

3.3、优质国产厂商梳理 ..... - 22 -

3.3.1、新莱应材 ...... - 22 -

3.3.2、晶盛机电 ...... - 25 -

3.3.3、九天真空 ...... - 25 -

4、投资建议 .... - 26 -

5、风险提示 .... - 27 -

图目录

图1、各种阀门图示 ..... - 4 -

图2、我国定义的常见阀门种类及代号 ..... - 4 -

图3、最常用的真空阀及应用 ..... - 6 -

图4、闸阀产品图示 ..... - 7 -

图5、闸阀的应用示例 ..... - 7 -

图6、角阀产品图示 ..... - 7 -

图7、角阀的应用示例 ..... - 7 -

图8、摆阀产品图示 ..... - 8 -

图9、摆阀的应用示例 ..... - 8 -

图10、碟阀产品图示 ....... - 8 -

图11、碟阀的工作原理 ....... - 8 -

图12、球阀产品图示 ....... - 8 -

图13、球阀的应用示例 ....... - 8 -

图14、传输阀产品图示 ....... - 9 -

图15、传输阀的应用示例 ....... - 9 -

图16、2021 年全球真空阀市场中瑞士VAT 的市场份额 .... - 10 -

图17、全球真空阀主要厂商与市场份额情况...... - 11 -

图18、VAT 所处产业链及服务市场和客户 ..... - 11 -

图19、2022 年VAT 收入业务结构.... - 12 -

图20、2022 年VAT 收入地区结构.... - 12 -

图21、典型IC 制造厂的气体分配系统 .... - 12 -

图22、Fab 厂特气系统输送路径 ....... - 12 -

图23、Gas Cabinets 图示 ....... - 13 -

图24、多功能阀箱图示 ..... - 13 -

图25、Gas Box 图示 ....... - 13 -

图26、隔膜阀产品图示 ..... - 14 -

图27、隔膜阀工作原理 ..... - 14 -

图28、调压阀产品图示 ..... - 14 -

图29、调压阀工作原理 ..... - 14 -

图30、单向阀产品图示 ..... - 15 -

图31、部分单向阀内部结构图 ..... - 15 -

图32、波纹管阀产品图示 ..... - 15 -

图33、波纹管阀内部结构图 ..... - 15 -

图34、Swagelok 的嵌入式阀组系统设计可使Gas Box 更小型化 ..... - 16 -

图35、Swagelok 提供产品图示 ..... - 18 -

图36、Swagelok 面向半导体行业的产品 ..... - 18 -

图37、Fujikin 产品 ..... - 19 -

图38、Fujikin 产品 ..... - 19 -

图39、中芯国际扩产及资本开支整理及预测...... - 20 -

图40、全球半导体设备市场规模地区结构 ..... - 21 -

图41、2020 年半导体零部件供应商及自给率 ..... - 21 -

图42、新莱应材发展历程 ..... - 22 -

图43、新莱应材产品图示 ..... - 23 -

图44、新莱应材主要下游 ..... - 23 -

图45、新莱应材产品结构 ..... - 23 -

图46、新莱应材下游结构 ..... - 23 -

图47、新莱应材真空产品 ..... - 24 -

图48、新莱应材UHP 超高洁净产品图示 .... - 24 -

图49、晶盛机电主营业务布局 ..... - 25 -

图50、晶盛机电精密零部件业务 ..... - 25 -

图51、九天真空发展历程 ..... - 26 -

图52、九天真空核心业务 ..... - 26 -

图53、九天真空真空阀产品 ..... - 26 -

表目录

表1、常见阀门分类 ..... - 5 -

表2、真空的压力范围划分 ..... - 5 -

表3、真空阀按作用划分 ..... - 6 -

表4、真空产品材料选择的指标要求 ..... - 9 -

表5、半导体真空阀需满足的要求 ....... - 10 -

表6、气体系统元件需满足的要求 ....... - 16 -

表7、ALD 对流体系统阀门提出的挑战 ...... - 17 -

表8、半导体阀的国内外供应商梳理 ....... - 22 -

表9、板块公司估值 ....... - 27 -