半导体行业研究报告( 143 页)

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目录

1. 半导体材料：半导体制造工艺基石，国产替代加速 ....... 13

1.1. 半导体材料是半导体制造工艺的核心基础 ...... 13

1.2. 半导体材料发展现状：海外主导，国产需加强研发 ....... 15

1.3. 国产替代加速，材料量价齐升 ..... 17

1.3.1. 驱动因素1：上游涨价+供应短缺，半导体材料价格增长 .... 17

1.3.2. 驱动因素2：下游扩产，半导体材料市场空间广阔 .... 19

1.3.3. 驱动因素3：政策加码，国产替代进程加速 ...... 20

2. 硅片：半导体行业蓬勃发展，硅片量产空间广阔 .... 22

2.1. 硅片：基础材料附着行业支撑属性，晶圆制造材料产业核心 ..... 22

2.2. 硅片产业链：下游需求高企，开辟硅片行业新一轮增长曲线 ..... 24

2.2.1. 200mm 半导体硅片：新能源汽车助推功率器件增长，硅片受益面持续扩大...... 24

2.2.2. 300mm 半导体硅片：存储芯片终端应用重点集中于移动端，智能手机行业升级将推动硅片发展 .... 25

2.2.3. SOI 硅片：智能手机带动需求上升，沪硅定增项目将填补国内300mmSOI技术空白 ....... 27

2.3. 市场规模&竞争格局 .... 27

2.3.1. 半导体硅片景气度提升，全球300mm 半导体硅片或将持续供不应求 ....... 27

2.3.2. 竞争格局：全球市场步入寡头垄断格局，沪硅在国内份额领先 .... 30

2.4. 相关公司 ...... 31

2.4.1. 沪硅产业：国内半导体硅片产业航母，开启高端SOI 蓝海共筑核心优势 . 31

2.4.2. 立昂微：核心赛道优质龙头，“三轮驱动”公司成长....... 35

2.4.3. TCL 中环：双拳出击，重塑全球硅片格局 ....... 37

3. 特种气体：政策利好需求升级，行业发展势头强劲 ....... 40

3.1. 电子特气：占比最大的特种气体，半导体制造不可或缺的原材料 ....... 40

3.2. 市场规模&竞争格局：政策驱动快速增长，发达国家龙头企业垄断，国产特气细分领域优势明显 ...... 41

3.3. 相关公司 ...... 44

3.3.1. 华特气体：工业气体国产龙头，主营业务增长稳定 ....... 44

3.3.2. 南大光电：电子特气领先企业，三大业务板块协同发展 ...... 46

3.3.3. 正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力 ..... 48

3.3.4. 金宏气体：国内民营气体龙头，纵横发展未来可期 ....... 51

3.3.5. 凯美特气：重点发展电子特气业务，积极推进ASML 认证 ..... 53

3.3.6. 和远气体：工业气体领先企业，积极开拓电子特气 ....... 55

4. 光刻胶：半导体材料皇冠上的明珠，高壁垒高盈利 ....... 57

4.1. 光刻胶：泛半导体产业核心材料，半导体材料皇冠上的明珠 ..... 57

4.2. 光刻工艺：半导体摩尔定律发展核心驱动力 ..... 59

4.3. 光刻胶产业链：技术&客户壁垒高，行业持续高盈利能力 ...... 62

4.4. 光刻胶市场规模&竞争格局....... 63

4.5. 相关公司 ...... 65

4.5.1. 华懋科技：投资半导体光刻胶龙头徐州博康，产业链一体化优势显著 ...... 65

4.5.2. 彤程新材：收购北京科华+北旭电子，打造半导体&FPD 光刻胶平台 ..... 68

4.5.3. 晶瑞电材：中端光刻胶进口替代创造成长空间 .... 70

4.5.4. 飞凯材料：紫外固化和电子化学品龙头，TFT-LCD 光刻胶产能待释放 ...... 72

5. 光掩膜：设备&技术高门槛，美日厂商占据主流 .... 73

5.1. 光掩膜：高技术门槛的冷门赛道 .... 73

5.2. 光掩膜市场规模&竞争格局：美日为主导，国内产品与国外差距逐步缩小 ...... 76

5.3. 相关公司 ...... 79

5.3.1. 清溢光电：规模最大国产光掩膜供应商之一，客户拓展实现突破 ....... 79

6. CMP 材料：抛光液&抛光垫是核心 ..... 81

6.1. CMP 工艺：IC 制造关键技术，抛光液与抛光垫为核心耗材 .... 81

6.2. CMP 抛光液：配方成分复杂+种类繁多，美日企业主导 ....... 83

6.2.1. CMP 抛光液工艺：配方成分复杂+种类繁多，研磨粒子成本占比高 .... 83

6.2.2. 全球CMP 抛光液市场：卡博特微电子等美日企业主导 .... 85

6.3. CMP 抛光垫：专利壁垒突出，海外企业占据垄断地位 ...... 86

6.3.1. CMP 抛光垫工艺：突破技术壁垒，加速进口替代.... 86

6.3.2. 全球CMP 抛光垫市场：陶氏杜邦占据垄断地位 ...... 89

6.4. 相关公司 ...... 89

6.4.1. 鼎龙股份：国产CMP 抛光垫核心供应商，泛半导体材料业务迎来放量 .... 89

6.4.2. 安集科技：国产CMP 抛光液龙头，产品品类逐步拓展 .... 93

7. 湿电子化学品：纯度&洁净度要求高，欧美占据大份额，国产规模持续上涨 ...... 98

7.1. 湿电子化学品：广泛应用于“半导体+光伏+平板显示器”市场 ...... 98

7.2. 市场规模：中国湿电子化学品产需规模持续上涨 ..... 100

7.3. 竞争格局：欧美企业占据大份额，国产替代市场广阔 ....... 101

7.4. 相关公司 ....... 103

7.4.1. 上海新阳：湿电子化学品产业龙头，多项产品不断突破，定增加码光刻胶....... 103

7.4.2. 中巨芯：电子化学材料龙头，G4 级以上湿电子化学品品控，客户群丰富....... 105

8. 溅射靶材：半导体制造关键材料，海外巨头优势明显 .... 108

8.1. 靶材：高金属纯度要求，半导体制造关键材料 ..... 108

8.2. 市场规模&竞争格局：增量可观，海外巨头优势明显 ..... 109

8.3. 相关公司 ....... 111

8.3.1. 江丰电子：国内高纯溅射靶材产业龙头，优质客户在手增长可期 .... 111

8.3.2. 有研新材：有色金属材料龙头，子公司有研亿金布局高端靶材产品 .... 113

9. 前驱体：薄膜沉积关键材料，国产替代空间广阔 ..... 115

9.1. 前驱体：薄膜沉积工艺核心材料 ..... 115

9.2. 市场规模&竞争格局：市场规模快速增长，发达国家占据垄断地位 ..... 118

9.3. 相关公司 ....... 120

9.3.1. 雅克科技：前驱体产业龙头，电子材料平台日渐成型.... 120

10. 第三代半导体材料：优势显著，下游应用场景广阔 ...... 121

10.1. SiC&GaN：物理性能佳，综合成本优势明显..... 123

10.1.1. 物理性能：能力损耗低、封装尺寸小、散热能力强 ...... 123

10.1.2. 制备成本：与传统产品价差持续缩小，综合成本优势明显 .... 124

10.2. 产业链：各环节产能增长..... 128

10.2.1. 供给端：产线陆续开通，产能不断增加 ..... 128

10.3. 竞争格局：美日欧三足鼎立，我国渐行渐近.... 129

10.4. 相关公司 ..... 132

10.4.1. 三安光电: 化合物半导体业务多轮驱动, 加速替代海外供应商 ..... 132

10.4.2. 天岳先进：国内领先第三代半导体碳化硅衬底材料制造商 .... 135

10.4.3. 露笑科技：成功研发6 英寸导电型碳化硅衬底片 ...... 136

10.4.4. 东尼电子：大力布局半导体领域碳化硅半导体材料 ...... 137

11. 投资建议 ..... 138

11.1. 重点公司估值表 ....... 138

11.2. 重点公司产品布局情况 ..... 139

12. 风险提示 ..... 143

图表目录

图1：半导体产业链 ...... 13

图2：集成电路制造流程 ..... 13

图3：半导体材料细分领域及占比（单位：%） ..... 14

图4：1971-2019 年晶体管数量遵循摩尔定律不断上升 ..... 14

图5：流片的成本随技术节点的推进不断上升 ....... 14

图6：全球半导体材料市场规模及增速 ..... 15

图7：全球半导体材料分产品情况 ...... 15

图8：2019 年中国半导体材料细分市场竞争格局 ..... 15

图9：2019 年中国半导体产业结构..... 15

图10：中国集成电路销售额 ...... 16

图11：中国集成电路进口额 ...... 16

图12：半导体材料验证流程 ...... 16

图13：全球半导体材料市场收入分布（按地区） .... 17

图14：全球半导体材料市场规模及增速（单位：亿美元，%） ...... 17

图15：中国半导体材料产业链全景图 ....... 17

图16：2021 年6 月-2022 年6 月硅料价格走势 ....... 18

图17：中国99.99%含量氖气价格（元/立方米） ...... 19

图18：2020Q4 全球集成电路制造用材料市场结构（%） ..... 22

图19：2021 年国内半导体制造材料市场结构（%） .... 22

图20：半导体硅片制备流程 ...... 23

图21：2016-2022 年全球芯片制造产能预测分布 ...... 24

图22：半导体硅片尺寸演进 ...... 24

图23：2018 年全球8 寸硅片终端应用领域情况（%） ....... 25

图24：2019-2024E 全球汽车用硅片需求量（百万片/月） .... 25

图25：300mm 硅片核心驱动力 ....... 25

图26：2018 年12 英寸硅片下游应用占比 ....... 26

图27：2019-2024E 智能手机对12 寸硅片需求（百万片） ....... 26

图28：2019-2024E 智能手机分类别芯片的12 寸硅片需求（百万片/月） ...... 26

图29：不同通信技术下每部智能手机SOI 硅片需求面积（mm2，%） .... 27

图30：2010-2020 年全球半导体硅片市场规模（不包含SOI 片）（亿美元） ....... 28

图31：2010-2020 年全球半导体硅片出货面积（不包含SOI 片）（百万平方英尺） ..... 28

图32：全球及国内SOI 市场规模（亿美元，%） ...... 28

图33：2020 年全球硅片分尺寸市场占比（%） ..... 29

图34：全球300mm 硅片供需情况预测.... 29

图35：2020 年国内硅片供应能力（百万平方英寸/年） ....... 29

图36：全球300mm 硅片需求及预测（千片/月） .... 30

图37：2018-2020 年全球前五大半导体硅片企业销售金额（亿美元，%） .... 31

图38：2019 年全球硅片制造商市场份额（%） ..... 31

图39：沪硅产业发展历程 ...... 32

图40：公司收并购及控股情况 ..... 32

图41：2016-2021 公司营业收入结构（百万元） .... 33

图42：沪硅产业营业收入及增速（单位：亿元，%） ..... 34

图43：沪硅产业归母净利润及增速（单位：亿元，%） .... 34

图44：2016-2021 公司销售毛利率及销售净利率（%） ..... 34

图45：公司母公司与子公司定位情况 ....... 35

图46：立昂微电分立器件产品 ..... 35

图47：金瑞泓硅片业务情况 ...... 35

图48：立昂东芯技术路线 ...... 36

图49：立昂微营业收入及增速（单位：亿元，%） ...... 36

图50：立昂微归母净利润及增速（单位：亿元，%） ..... 36

图51：2020-2021 年主营业务营收占比大幅提升（单位：亿元） .... 37

图52：2022H1 公司各项业务营收占比 .... 37

图53：公司盈利能力情况 ...... 37

图54：公司各业务毛利率情况（%） .... 37

图55：公司主营业务.... 38

图56：TCL 中环营业总收入及增速（单位：亿元，%） ..... 38

图57：TCL 中环归母净利润及增速（单位：亿元，%） ..... 38

图58：TCL 中环2022H1 营收结构（单位：%） .... 38

图59：TCL 中环新能源光伏产品 ..... 38

图60：公司半导体材料产品 ...... 39

图61：TCL 中环研发投入及占比（单位：亿元，%） ...... 39

图62：公司半导体材料领域营收及增速（单位：亿元，%） ....... 39

图63：TCL 中环毛利率与净利率 ..... 40

图64：2020 年中国工业气体细分气体市场规模占比 ...... 40

图65：电子特气在半导体制造过程中的应用 ..... 41

图66：2017-2026 年中国特种气体市场规模 ....... 41

图67：2021 年中国特种气体下游应用 ...... 42

图68：2017-2021 年中国特种气体细分市场规模 ...... 42

图69：2021 年电子特气下游应用 ....... 43

图70：2018 年全球特种气体市场竞争格局 ..... 43

图71：2020 年中国特种气体市场竞争格局 ..... 43

图72：华特气体发展历程 ...... 44

图73：华特气体营业总收入及增速（单位：亿元，%） .... 44

图74：华特气体归母净利润及增速（单位：亿元，%） .... 44

图75：2017-2021 年华特气体毛利率净利率 ....... 45

图76：2021 年华特气体业务构成 ....... 45

图77：华特气体各业务收入同比增长率 ....... 45

图78：2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 46

图79：2017-2021 年华特气体人均创收和人均创利 ..... 46

图80：南大光电发展历程 ...... 46

图81：南大光电营业总收入及增速（单位：亿元，%） .... 47

图82：南大光电归母净利润及增速（单位：亿元，%） .... 47

图83：2017-2021 年南大光电毛利率净利率 ....... 47

图84：2021 年南大光电业务构成 ....... 48

图85：南大光电各业务收入同比增长率 ....... 48

图86：2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 48

图87：2017-2021 年南大光电人均创收和人均创利 ..... 48

图88：正帆科技营业总收入和同比增长率（单位：亿元，%） ...... 49

图89：正帆科技归母净利润和同比增长率（单位：亿元，%） ...... 49

图90：2017-2021 年正帆科技毛利率净利率 ....... 49

图91：2021 年正帆科技业务构成 ....... 50

图92：正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率.... 50

表93：正帆科技电子气体主要产品 .... 50

图94：2017-2021 年研发费用及研发费用占比....... 50

图95：2017-2021 年正帆科技人均创收和人均创利 ..... 50

图96：金宏气体发展历程 ...... 51

图97：金宏气体营业总收入及增速（单位：亿元，%） .... 51

图98：金宏气体归母净利润及增速（单位：亿元，%） .... 51

图99：2017-2021 年金宏气体毛利率净利率 ....... 51

图100：2021 年金宏气体业务构成 ..... 52

图101：金宏气体各业务收入同比增长率 .... 52

图102：2018-2021 年研发费用及研发费用占比 .... 52

图103：2017-2021 年金宏气体人均创收和人均创利 ....... 52

图104：凯美特气发展历程 .... 53

图105：2017-2022H1 凯美特气营业总收入及增长率 .... 53

图106：2017-2022H1 凯美特气归母净利润及增长率 .... 53

图107：2017-2022H1 凯美特气销售毛利率及净利率 .... 54

图108：2022H1 凯美特气业务结构 ....... 54

图109：2018-2021 凯美特气研发费用及占比 ....... 54

图110：2017-2021 凯美特气人均创收及人均创利 ...... 54

图111：和远气体发展历程 .... 55

图112：2017-2022H1 和远气体营业总收入及增长率 .... 56

图113：2017-2022H1 和远气体归母净利润及增长率 .... 56

图114：2017-2021 和远气体销售毛利率及净利率 ...... 56

图115：2017-2021 和远气体分业务毛利率 .... 56

图116：2022H1 和远气体业务结构 ....... 56

图117：和远气体各业务收入同比增长率 .... 56

图118：2017-2021 年和远气体研发费用及研发费用占比 .... 57

图119：2017-2021 年和远气体人均创收和人均创利 ..... 57

图120：光刻胶是半导体产业链中的重要材料 ....... 57

图121：芯片制造材料细分领域占比 ..... 57

图122：光刻胶的应用流程 .... 58

图123：半导体光刻工艺流程图....... 59

图124：集成电路的微观结构 ....... 59

图125：曝光波长与光刻技术发展的关系 .... 60

图126：不同光刻胶与芯片制程对应关系 .... 60

图127：IC 制造中逻辑器件的技术节点和所需光刻工艺的对应关系..... 61

图128：全球光刻胶产业链图谱....... 62

图129：中国光刻胶产业链布局....... 62

图130：全球光刻胶研制专利分布 ...... 62

图131：光刻胶认证基本流程 ....... 62

图132：上海新阳光刻胶项目效益测算 ..... 63

图133：全球光刻胶市场规模（亿美元） .... 63

图134：中国光刻胶市场规模（亿元） ..... 63

图135：全球半导体光刻胶市场规模（亿美元） ...... 64

图136：全球KrF 光刻胶市场份额....... 65

图137：全球ArF 光刻胶市场份额 ...... 65

图138：北京科华部分光刻胶产品 ...... 65

图139：苏州瑞红部分光刻胶产品 ...... 65

图140：华懋科技营业总收入及同比增速（单位：亿元，%） ..... 66

图141：华懋科技归母净利润及同比增速（单位：亿元，%） ..... 66

图142：华懋科技2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 66

图143：华懋科技汽车安全气囊布产品展示 ....... 66

图144：徐州博康2020 年1-9 月营收结构 ..... 67

图145：徐州博康专利技术（部分） ..... 67

图146：徐州博康主营业务收入和净利润（亿元）...... 67

图147：徐州博康生产中心二期工程 ..... 67

图148：彤程新材营业总收入及同比增速（单位：亿元，%） ..... 68

图149：彤程新材归母净利润及同比增速（单位：亿元，%） ..... 68

图150：彤程新材2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 69

图151：彤程新材22H1 产品收入结构 ...... 69

图152：北京科华微电子DUV 光刻胶产品KMPDK3050 .... 70

图153：北京科华2019 及2020 年营收和归母净利润/万元 ..... 70

图154：北旭电子主要产品 .... 70

图155：北旭电子营收和利润总额/亿元 ....... 70

图156：晶瑞电材主要产品 .... 70

图157：晶瑞电材营业总收入及同比增速（单位：亿元，%） ..... 71

图158：晶瑞电材归母净利润及同比增速（单位：亿元，%） ..... 71

图159：晶瑞电材2016-22H1 销售毛利率和净利率 ...... 71

图160：晶瑞电材2022H1 年产品收入结构 ..... 71

图161：飞凯材料主要产品 .... 72

图162：飞凯材料营收及增速（单位：亿元，%） .... 73

图163：飞凯材料研发支出及占营收比例 .... 73

图164：飞凯材料2015-2021 销售毛利率和净利率..... 73

图165：飞凯材料2021 年产品收入结构 ...... 73

图166：光掩膜工作原理 .... 73

图167：光掩膜结构 ...... 74

图168：光掩膜基本制作流程 ....... 74

图169：匀胶铬版光掩膜制作流程 ...... 75

图170：光掩膜产业链 ..... 76

图171：光掩膜的应用 ..... 76

图172：2016-2019 全球光掩膜市场规模（单位：亿美元） ..... 77

图173：2015-2020 年中国光掩膜玻璃基板需求量分布（单位：万平方米） .... 77

图174：2020 年全球光掩膜板市场竞争格局 ...... 77

图175：全球光掩膜版领先企业高端掩膜版供应情况 ..... 78

图176：清溢光电2021 主营业务收入结构 ..... 79

图177：清溢光电营业收入及增速（单位：亿元，%） ....... 80

图178：清溢光电归母净利润及增速（单位：亿元，%） ...... 80

图179：2017-2022H1 公司盈利能力 .... 80

图180：集成电路制造过程及CMP 工艺应用场景 .... 81

图181：CMP 平坦化效果图（CMOS 结构剖面图） .... 81

图182：半导体行业中CMP 的应用领域 ...... 82

图183：CMP 工作原理示意图 ...... 82

图184：CMP 材料分类占比 ...... 82

图185：CMP 研磨粒子在集成电路中的应用 ...... 84

图186：安集科技2016-2018 年主要原材料采购金额占比 ....... 85

图187：中国CMP 抛光材料市场规模及增长率（单位：亿元） .... 85

图188：2016-2018 全球CMP 抛光液市场规模（单位：亿美元） ....... 85

图189：2018 年全球CMP 抛光液市场格局 .... 86

图190：CMP 过程中硅片–磨粒–抛光垫之间的接触示意图 ...... 86

图191：复合型抛光垫及其示意图 ...... 86

图192：常见抛光垫结构及对应品牌 ..... 87

图193：全球抛光垫专利申请趋势图 ..... 87

图194：中国抛光垫专利申请趋势图 ..... 88

图195：主要抛光垫专利权人的申请及专利引用情况 ..... 88

图196：2016-2018 全球CMP 抛光垫市场规模（单位：亿美元） ....... 89

图197：2018 年全球CMP 抛光垫市场格局 .... 89

图198：鼎龙股份项目研发及资质认定时间轴 ....... 90

图199：鼎龙股份业务板块及主要产品 ..... 90

图200：鼎龙股份营收及增速（单位：亿元，%） .... 91

图201：鼎龙股份归母净利润及增速（单位：亿元，%） ...... 91

图202：鼎龙股份2012-2021 毛利率及净利率 ...... 91

图203：鼎龙股份2013-2021 分业务毛利率 ...... 91

图204：公司2021 年营收结构 .... 91

图205：CMP 业务2018-2021 营收及增速（单位：万元，%） ...... 91

图206：CMP 抛光垫经营主体——子公司鼎汇微电子股权结构图 .... 92

图207：公司发展历程 ..... 93

图208：安集科技营收及同比增速（单位：亿元，%） ...... 94

图209：安集科技归母净利润及同比增速（单位：亿元，%） .... 94

图210：安集科技2016-2020 年营收结构 ..... 95

图211：安集科技2017-2020 年各业务增长率 ....... 95

图212：安集科技毛利率及净利率 ...... 95

图213：安集科技各细分业务毛利率 ...... 95

图214：湿电子化学品在集成电路制造中的应用 ...... 98

图215：电子湿化学品工艺流程图 ...... 98

图216：湿电子化学品主要分类....... 99

图217：2019 年细分湿电子化学品需求占比 ...... 99

图218：湿电子化学品技术要求....... 99

图219：2021 中国湿电子化学品市场需求结构 ...... 100

图220：2014-2021 年中国湿电子化学品产量及增长率 ....... 100

图221：2014-2021 年中国湿电子化学品需求量及增长率 ...... 100

图222：2014-2026E 年中国湿电子化学品市场规模（单位：亿元，%） ...... 101

图223：细分应用领域湿电子化学品市场规模（亿元） ..... 101

图224：2021 年全球湿电子化学品市场份额 ....... 101

图225：2020 年电子湿化学品整体国产化率 ....... 102

图226：芯片铜互连工艺及公司产品应用 ..... 103

图227：上海新阳营业总收入及同比增速（单位：亿元） ..... 104

图228：上海新阳归母净利润及同比增速（单位：亿元） ..... 104

图229：上海新阳2016-2021 销售毛利率和净利率 ....... 104

图230：上海新阳2021 年产品收入结构 ....... 104

图231：募投项目预计进程 ..... 105

图232：中巨芯产品市场应用示意图 ...... 106

图233：中巨芯主要产品、产品用途、产品应用领域及产品所处阶段（截至2022 年7 月）.... 106

图234：中巨芯2021 年营收结构 ..... 106

图235：中巨芯通用湿电子化学品营收及增速（单位：亿元，%） .... 106

图236：中巨芯客户群体 ..... 107

图237：中巨芯营收及增速（单位：亿元，%） ..... 107

图238：中巨芯归母净利润及增速（单位：亿元，%） .... 107

图239：中巨芯毛利率及净利率情况 ...... 108

图240：半导体用靶材晶圆制造镀膜流程 ..... 108

图241：全球高纯溅射靶材市场容量规模（亿美元） ...... 109

图242：溅射靶材应用结构 ..... 109

图243：全球半导体销售规模（百万美元） ..... 109

图244：半导体及平板显示用靶材市场规模（亿元） ...... 109

图245：全球半导体靶材市场竞争格局 ...... 110

图246：2020 年中国靶材市场竞争格局 ..... 110

图247：高纯溅射靶材生产工艺（以铝靶为例） ....... 110

图248：江丰电子2021 营收结构 ..... 111

图249：江丰电子2016-2022H1 营业总收入及增速..... 112

图250：江丰电子2016-2022H1 归母净利润及增速..... 112

图251：江丰电子2016-2022H1 销售毛利率和净利率（%） .... 112

图252：江丰电子2016-2021 各业务毛利率情况 ...... 112

图253：公司主要客户分布情况.... 113

图254：2021 年有研新材主营业务收入结构 ....... 113

图255：有研新材2016-2022H1 营业总收入及增速..... 114

图256：有研新材2016-2022H1 归母净利润及增速..... 114

图257：有研新材2016-2022H1 销售毛利率及净利率 .... 114

图258：公司靶材产品 ...... 114

图259：前驱体制造流程 ..... 115

图260：前驱体材料在CVD 工艺中的应用 .... 116

图261：前驱体材料在ALD 工艺中的应用..... 116

图262：先进制程/3D 器件结构对薄膜沉积的要求 ....... 117

图263：国际半导体技术发展蓝图（ITRS） ..... 118

图264：全球前驱体市场规模（单位：亿美元） ....... 118

图265：全球存储芯片市场规模及增速（单位：亿美元，%） ..... 119

图266：中国存储芯片市场规模及增速（单位：亿元，%） ..... 119

图267：雅克科技历史沿革 ..... 120

图268：雅克科技营业收入及同比增速（单位：亿元，%） ...... 120

图269：雅克科技归母净利润及同比增速（单位：亿元，%） ...... 120

图270：雅克科技毛利率及净利率（%） ....... 121

图271：雅克科技2021 年业务构成 .... 121

图272：半导体材料的演化 ..... 122

图273：硅和化合物半导体应用的范围 ...... 122

图274：2020 年SiC、GaN 电力电子器件下游应用分布（单位%） .... 123

图275：碳化硅综合优势比较 .... 123

图276：三类代表性半导体材料物理特性比较 .... 124

图277：同规格碳化硅器件与硅器件对比 ..... 125

图278：2017 年-2020 年650V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) ..... 126

图279：2017 年-2020 年1200V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) .... 126

图280：碳化硅单晶生长示意图（左：液相生长法；右：物理气相传输法） .... 127

图281：HPVE 生长设备 ....... 127

图282：氨热法生长示意图 ..... 128

图283：助熔剂法生长过程示意图 ....... 128

图284：GaN 领域海外重点机构技术布局（专利数量）（截至2019 年4 月） ..... 130

图285：2020 年上半年全球SiC 衬底市场竞争格局 ...... 130

图286：碳化硅全球市场三足鼎立 ....... 131

图287：全球第三代半导体行业技术来源国分布（截止2021 年底） ....... 131

图288：中国第三代半导体专利申请数量处于领先地位 ..... 131

图289：第三代半导体材料专利申请趋势及技术来源国分布 .... 132

图290：三安光电化合物半导体布局广泛 ..... 132

图291：三安光电营收及增速（单位：亿元，%） ..... 134

图292：三安光电归母净利润及增速（单位：亿元，%） ....... 134

图293：三安光电在氮化镓的应用领域 ..... 135

图294：天岳先进营业收入与同比增长状况（单位：亿元，%） .... 135

图295：露笑科技营业收入与同比增长状况（单位：亿元，%） .... 136

图296：东尼电子营业收入与同比增长状况（单位，亿元，%） .... 137

图297：重点跟踪公司估值信息（wind 一致预期，截至 2022.9.16） ..... 138

表1：半导体材料主要细分产品及用途 ..... 14

表2：国内晶圆厂扩产规划 .... 19

表3：2016-2022 中国半导体行业相关政策 .... 20

表4：半导体硅片分类、特性及应用领域 .... 23

表5：12 英寸硅片下游应用 ....... 24

表6：8 英寸硅片下游应用 ..... 25

表7：公司主要子公司情况 .... 32

表8：公司主营业务情况 ..... 33

表9：中国电气特气主要生产企业及电子特气产品情况..... 44

表10：华特气体主要气体产品 ..... 46

表11：南大光电主要气体产品 ..... 48

表12：金宏气体主要气体产品 ..... 52

表13：凯美特气募投项目 ...... 55

表14：和远气体电子特气主要投资项目 ...... 57

表15：光刻胶主要成分 ....... 58

表16：光刻胶按照下游应用分类 .... 59

表17：IC 集成度与光刻技术发展历程....... 60

表18：主要的光刻胶体系 ...... 61

表19：2019 年中国半导体光刻胶行业企业布局情况 ...... 64

表20：徐州博康旗下汉拓光学产品梳理 ...... 66

表21：公司光刻胶产销情况 ...... 71

表22：苏州瑞红部分光刻胶产品 .... 72

表23：2020 年全球主要平板显示掩膜版企业销售金额排名（单位：万日元，%） .... 78

表24：公司掩膜板产品类型 ...... 79

表25：公司半导体产品及客户情况 .... 80

表26：CMP 抛光液主要成分及作用 ...... 83

表27：主要CMP 抛光液种类及应用领域 .... 84

表28：CMP 抛光垫业务历史 .... 92

表29：公司在CMP 抛光液与功能性湿电子化学的产品及技术上均有成果与布局 ..... 96

表30：中国大陆主要湿电子化学品生产企业 ...... 102

表31：靶材分类 ...... 108

表32：江丰电子半导体芯片靶材产品 .... 112

表33：有研亿金靶材扩产项目 ...... 115

表34：中国前驱体厂商产品进展 ..... 119

表35：雅克科技募投资金情况（万元） ....... 121

表36：GaN 单晶衬底的生长工艺 ..... 127

表37：国内SiC 晶圆制造产线（截止2021 年） ....... 129

表38：国内GaN 晶圆制造产线（截止2021 年） ..... 129

表39：2020 年我国SiC 产能统计 .... 129

表40：2020 年我国GaN 产能统计 ...... 129

表11：三安光电核心技术服务 ...... 133

表41：三安光电核心技术服务 ...... 133

表42：重点半导体材料公司产品布局情况 ....... 139