集成电路制造关键设备离子注入机行业发展报告( 25页)

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目录索引

离子注入机：半导体晶圆制造等领域的关键设备之一 ........ 6

市场空间：全球市场规模较大，未来有望继续扩大 .... 8

半导体制造：25 亿美元空间，受益下游需求与技术演进规模有望扩大 ..... 8

太阳能电池生产：离子注入占整体比例相对较低，未来有望继续成长 ...... 9

AMOLED 面板制造：超过3 亿美元空间，受益下游AMOLED 浪潮 ....... 10

竞争格局：壁垒高企，国外厂商占据大部分市场 ..... 12

国内边际变化之一：多因素助力，国内迎晶圆建厂潮 ...... 14

集成电路：政策、资金、市场助力，国内半导体设备迎来密集投资期 .... 14

太阳能电池：生产设备国产化率高，受益政策回暖市场继续成长 ........... 16

AMOLED：需求驱动OLED 产线开出，未来中国大陆将占据重要市场 .......... 16

国内边际变化之二：国内供应商实现重要突破 ......... 18

万业企业旗下凯世通：全球领先太阳能离子注入机厂商，发力IC/IGBT/AMOLED. 18

中科信：国内领先的离子注入机生产厂商，集成电路产品取得进展 ........ 21

离子注入设备海外可比公司估值情况 ....... 22

投资建议 ........... 22

风险提示 ........... 22

附录：离子注入机在半导体制造/太阳能电池/AMOLED 领域应用 .... 23

图表索引

图1：离子注入示意图（低能/低剂量/快速扫描） .......... 6

图2：离子注入示意图（高能/大剂量/慢速扫描） .......... 6

图3：离子注入机结构 .... 7

图4：离子注入机工作原理 ..... 7

图5：全球晶圆加工设备市场规模18 年超500 亿美元 .......... 8

图6：各类晶圆加工设备占比，离子注入机占比5% ...... 8

图7：半导体晶圆产能（折合成8 寸晶圆）稳步成长 .... 9

图8：全球光伏设备规模近年来稳步成长 ....... 9

图9：全球面板设备投资规模展望 ........ 10

图10：离子注入机占AMOLED 设备规模比例约为7% ....... 10

图11：中小尺寸AMOLED 面板需求稳步成长 .... 11

图12：华为的外折式可折叠手机Mate X ..... 11

图13：2017 年全球离子注入机市场格局 ..... 13

图14：2017 年低能大束流离子注入机竞争格局 .......... 13

图15：中国大陆半导体设备销售额规模与占比快速提升 ..... 15

图16：全球与中国大陆光伏装机量，中国大陆占有一定比例...... 16

图17：随着中国大陆产线开出，全球中小尺寸AMOLED 产能供给稳步增长..... 17

图18：凯世通营业收入逐年成长 ......... 18

图19：凯世通归母净利润由负转正 ...... 18

图20：凯世通人员职务组成（截至2018 年3 月31 日） ........... 19

图21：凯世通人员学历组成（截至2018 年3 月31 日） ........... 19

图22：中科信电子装备有限公司产品一览 ........... 21

图23：2016-2019.09 华力集成离子注入设备中标结果，中科信中标1 台 .......... 22

图24：集成电路前道工艺（FEOL）：MOSFET 晶体管的制造过程 .... 23

图25：目前太阳能电池各类型占比，N 型不到10% ........... 24

图26：N 型电池中各类型占比 ..... 24

图27：TOPCon 型N 型电池工艺流程 ........ 24

图28：AMOLED 面板制程一览 ........... 25

表1：离子注入优点一览 ........ 6

表2：离子注入机分类 .... 7

表3：光伏行业各环节所用设备一览 ...... 9

表4：全球主要国家及地区光伏装机预测（单位：GW） .... 10

表5：全球从事离子注入机的设备企业总览 ......... 12

表6：近年来与离子注入机相关的政策一览 ......... 14

表7：目前中国内地在建的21 座晶圆厂 ...... 15

表8：凯世通核心技术人员 ........... 19

表9：凯世通太阳能离子注入机产品（暂未收录最新产品IPV-6000） ....... 20

表 10：凯世通2018年 1-6月前 五大客户 .... 20

表11：凯世通低能大束流离子注入机产品参数 ........... 21

表12：凯世通AMOLED 离子注入机产品参数 .... 21

表13：离子注入机海外可比公司估值一览 ........... 22

表14：各种太阳能电池类型对比 ......... 24

表15：离子注入在N 型电池的具体应用点 .......... 24