半导体量测检测分析报告( 34 页)

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目录

1 过程控制：量测、检测是半导体制造良率的重要保障 ...... 5

1.1 量测 ..... 8

1.2 检测 .... 16

2 量测检测持续升级，是前道设备主赛道之一 ..... 21

3 KLA：全球量测检测龙头企业 ...... 26

4 精测电子、睿励科学仪器、中科飞测等公司布局量测检测赛道 ..... 29

5 风险提示 ....... 34

图表目录

图表1: 半导体量测与检测分类 ..... 6

图表2: 过程控制（检测、测量）和ATE（测试）2021 年市场空间 .... 6

图表3: 检测缺陷&量测尺寸 .... 7

图表4: 光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术特征比较 ....... 7

图表5: 2021 年过程控制分类及市场规模（亿美元） ....... 8

图表6: 套刻误差测量 ..... 8

图表7: 常用的套刻误差测量目标图形.... 8

图表8: KLA Archer 系列套刻测量系统 ....... 9

图表9: ASML YiledStar 系列套刻测量设备 ....... 9

图表10: 薄膜测量方法 ....... 10

图表11: 四探针法 ....... 10

图表12: 涡流法 ..... 10

图表13: 椭圆偏振法原理图 ....... 11

图表14: 依次为Filmetrics R50、Aleris、和SpectraFilm .... 11

图表15: 光学散射测量基本流程 ....... 12

图表16: 不同光学散射测量装置示意图 注：(a)(b)角分辨散射仪；(c)(d)光谱散射仪 ..... 13

图表17: 基于非线性回归和库匹配方法的参数提取流程 .... 14

图表18: KLA SpectraShape 系列CD 和形状量测系统 ...... 14

图表19: 电子束与物质相互作用产生的信息 ...... 15

图表20: 扫描电镜原理图 ..... 15

图表21: SEM 图像 .... 15

图表22: 将SEM 图像做成Line Profile 计算出测定值 ..... 15

图表23: 明场和暗场光学图形晶圆缺陷检测设备 ...... 16

图表24: KLA 39xx、29xx 系列图案晶圆缺陷检测系统 ..... 17

图表25: KLA Puma 系列图形晶圆缺陷检测系统 ....... 17

图表26: 缺陷检测方式 ....... 18

图表27: ASML HMI 系列电子束图形晶圆缺陷检测系统 ..... 19

图表28: 无图形晶圆缺陷检测过程...... 19

图表29: 典型暗场散射示意图和不同缺陷散射示意图 ...... 20

图表30: 中科飞测与科磊无图形设备性能对比 .... 20

图表31: KLA Candela 8720 ....... 21

图表32: Hitachi LS ..... 21

图表33: 全球半导体设备分环节市场规模（亿美金） ...... 22

图表34: 全球晶圆制造设备分应用市场规模（十亿美金） ...... 22

图表35: 中国大陆设备市场重要性日益提升（左轴：十亿美金） .... 22

图表36: 半导体设备市场增速周期性.... 23

图表37: 全球过程控制市场（亿美金） ...... 23

图表38: 2020 年半导体检测和量测设备市场各类设备销售额及占比 ..... 24

图表39: 2021 年过程控制细分市场（百万美元） ..... 24

图表40: 2020 年全球半导体检测和量测设备市场分地区情况 ....... 25

图表41: 中国大陆半导体检测和量测设备市场规模（亿美金） ...... 25

图表42: 2020 年中国半导体量测检测设备市场格局 ....... 25

图表43: 2021 年过程控制市场格局（亿美金） ....... 26

图表44: KLA 营收及增速（亿美金） .... 27

图表45: KLA 分地域营收（亿美金） .... 27

图表46: KLA 分产品营收（亿美金） .... 27

图表47: KLA FY2023 产品结构 ..... 27

图表48: KLA 盈利水平 .... 27

图表49: KLA 研发费用情况（亿美金） ...... 27

图表50: 科磊产品系列 ....... 28

图表51: KLA 产品线迭代 ...... 28

图表52: KLA 远期增长目标 .... 29

图表53: 公司电子束检测设备eViewTM 全自动晶圆缺陷复查设备 .... 30

图表54: 中科飞测发展历程 ....... 31

图表55: 营业收入及增速（亿元）...... 32

图表56: 归母净利润（亿元） ..... 32

图表57: 检测设备和量测设备营收（亿元） ...... 32

图表58: 检测设备和量测设备毛利率.... 32

图表59: 中科飞测主要产品销售情况（台，万元） .... 33

图表60: 中科飞测研发费用情况（万元） .... 34

图表61: 中科飞测IPO 募投项目概况（万元） .... 34