量检测公司科磊分析报告( 24 页)

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目录

1. 检测设备贯穿每一步骤的过程工艺控制，全球市场空间超百亿美元 .... 5

1.1. 半导体量测设备：对各环节工艺参数指标进行测量.... 5

1.2. 半导体检测设备：分为光学与电子束技术，对图形缺陷进行检查....... 8

1.3. 前道测试设备市场空间超百亿美元，未来采购需求有望大幅上修..... 10

2. 科磊市占率高达52%，是国产替代路上的最大阻力之一....... 12

2.1. 科磊是全球量测领域龙头，产品贯穿前道工艺过程控制全流程 .... 12

2.2. 国内量检测设备厂已逐步实现出货，细分领域吹响国产替代号角..... 17

2.2.1. 上海精测：量检测领域均有涉及，产品线覆盖面较广 ..... 17

2.2.2. 上海睿励：主要覆盖膜厚及OCD 量测，逐渐向缺陷检测领域拓展 ..... 18

2.2.3. 中科飞测：产品已进入国内多条生产线 ...... 19

2.2.4. 东方晶源：EBI 和CD-SEM 领域填补国内关键空缺 .... 20

2.3. 部分细分领域国内厂商已实现突破，科磊仍占据垄断地位 ....... 21

3. 从科磊发展路径看对国内半导体检测设备企业的借鉴意义 .... 22

3.1. 第一阶段（1977~1990）：挖掘市场需求，快速进入量测市场 .... 22

3.2. 第二阶段（1990~1997）：运营进一步细化，产品放量加速.... 23

3.3. 第三阶段（1997~2021）：大幅进行并购，外延内生协同发展 .... 23

4. 风险提示...... 24

图表目录

图1：量测各环节测试的参数和主要的技术与设备 ...... 5

图2：薄膜材料厚度.... 6

图3：四探针台....... 6

图4：椭圆偏振技术.... 6

图5：关键尺寸示意图 .... 7

图6：CD-SEM 原理图 ....... 7

图7：套刻误差对准示意图 ..... 7

图8：缺陷检测图示.... 8

图9：明/暗场图形缺陷检测原理图...... 9

图10：明/暗场图形缺陷检测设备示意图..... 9

图11：无图形表面检测系统原理图 ..... 9

图12：KLA Surfscan 示意图 ...... 9

图13：睿励FSD 系列设备 ....... 10

图14：宏观缺陷检测设备示意图 ...... 10

图15：电子束缺陷检测原理图...... 10

图16：电子束缺陷检测示意图...... 10

图17：全球半导体设备市场规模及增速.....11

图18：中国大陆半导体设备市场规模及增速......11

图19：前道量测设备中各类设备占比 ....11

图20：前道测试设备中各类设备占比 ....11

图21：KLA2017-2021 财年营业收入及增速 ..... 12

图22：KLA2017-2021 财年归母净利润及增速 ..... 12

图23：KLA2019-2021 财年收入按业务拆分 ..... 13

图24：KLA2019-2021 财年各业务收入占比 ..... 13

图25：前道量测/检测设备全球市场竞争格局.... 14

图26：KLA 在各个环节的市占率...... 14

表1：未来国内晶圆厂产能及规划..... 12

表2：KLA 主要量测设备产品 ....... 13

表3：日立高新的半导体检测仪器..... 15

表4：Onto Innovation 检测设备产品 .... 16

表5：上海精测主要量测设备产品..... 17

表6：上海睿励主要量测设备产品..... 19

表7：中科飞测主要检测设备产品..... 20

表8：东方晶源主要测试设备产品..... 21

表9：长江存储采购主要量测设备统计...... 21

表10：长江存储主要采购检测设备统计.... 22

表11：KLA 并购历史 ....... 23