半导体设备行业分析报告( 42页)

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目 录

1、半导体产业及设备介绍.......... - 5 -

1.1、集成电路是半导体产业的核心产品........ - 5 -

1.2、设备是半导体产业的投资基础............... - 7 -

2、半导体产业向大陆转移，带来设备国产化机遇...... - 10 -

2.1、全球半导体市场如火如荼，持续拉动对设备的需求.............. - 10 -

2.2、半导体产业转移：从美日到韩台，下一站大陆？....... - 14 -

2.3、坐拥全球最大的半导体消费市场，带动产能本土化.............. - 16 -

2.4、政策支持力度空前，大基金入场加速产业升级.......... - 18 -

3、半导体制造核心工艺及设备介绍..... - 20 -

3.1、晶圆制造........... - 20 -

3.2、加热工艺........... - 21 -

3.3、光刻工艺........... - 23 -

3.4、离子注入工艺............... - 24 -

3.5、等离子体工艺............... - 25 -

3.6、刻蚀工艺........... - 26 -

4、设备国产化，任重而道远............... - 26 -

4.1、全球半导体设备市场达数百亿美元...... - 26 -

4.2、中国半导体设备国产化任重而道远...... - 28 -

4.3、设备技术代差尚存，仍需全产业验证、支持.............. - 30 -

5、国际巨头成长路径............... - 31 -

5.1、梅耶博格：外延并购打造全球半导体及光伏设备领域龙头企业........ - 31 -

5.2、应用材料：全球半导体设备领导者...... - 33 -

6、主要A 股上市公司介绍....... - 35 -

6.1、晶盛机电：单晶设备龙头，半导体设备逐渐突破....... - 35 -

6.2、北方华创：集成电路高端工艺装备的龙头企业.......... - 37 -

6.3、长川科技：专注集成电路检测设备，实现中高端设备国产替代........ - 38 -

6.4、至纯科技：高纯工艺系统整体解决方案，IC 业务实现突破.............. - 39 -

6.5、大族激光：激光加工设备龙头，封装、切割有望实现切入............... - 41 -

图表

图1、2016 年全球半导体销售额占比..... - 5 -

图2、2016 年全球集成电路终端应用占比......... - 5 -

图3、中国集成电路销量............ - 6 -

图4、中国集成电路行业销售额............. - 6 -

图5、全球半导体产业销售额及增速（亿美元）.......... - 6 -

图6、亚太地区占比逐渐提升（亿美元）.......... - 6 -

图7、全球半导体产业资本支出及增速（百万美元）.............. - 7 -

图8、集成电路生产工艺流程简图......... - 8 -

图9、台湾集成电路各环节产值情况（亿新台币）....... - 8 -

图10、大陆集成电路各环节销售额（亿元） ............... - 8 -

图11、全球半导体产业资本支出分类（百万美元）..... - 9 -

图12、ASML 光刻机............... - 10 -

图13、应用材料的刻蚀系统..... - 10 -

图14、2016 年不同晶圆尺寸下厂商的晶圆产能排行............. - 12 -

图15、硅片生产工艺流程........ - 12 -

图16、全球晶圆产能各地区市占率..... - 13 -

图17、三大半导体厂资本支出规模巨大（百万美元） .......... - 13 -

图18、全球半导体资本支出稳定增长（亿美元） ...... - 13 -

图19、半导体设备各地区市场规模（十亿美元） ...... - 14 -

图20、1980-2010 年全球存储行业市场份额变化........ - 14 -

图21、日美电视机产量比较（万台）............. - 15 -

图22、日本1975 年半导体产值份额达21%（亿美元） ........ - 15 -

图23、PC 崛起对半导体产业的影响............... - 15 -

图24、大陆智能手机品牌全球市场份额持续提升...... - 16 -

图25、2016 年全球晶圆产能分布........ - 16 -

图26、2016 年全球半导体消费市场分布（亿美元）............. - 16 -

图27、中国集成电路供需缺口扩大..... - 17 -

图28、中国集成电路市场十分依赖进口......... - 17 -

图29、大陆集成电路产业政策目标与政策支持.......... - 18 -

图30、截至2017 年4 月国家集成电路产业投资基金的资金投向...... - 19 -

图31、IC 制造核心工艺图........ - 20 -

图32、晶体CZ 提拉方法示意图.......... - 21 -

图33、水平式高温炉示意图..... - 22 -

图34、快速加热反应室示意图............ - 23 -

图35、光刻流程示意图............ - 24 -

图36、离子注入机示意图........ - 24 -

图37、PECVD 反应室示意图.............. - 25 -

图38、等离子刻蚀反应室示意图......... - 25 -

图39、遥控等离子体系统示意图......... - 25 -

图40、多晶硅栅刻蚀工艺流程............ - 26 -

图41、集成电路制造设备上下游......... - 27 -

图42、全球半导体设备销售额当季值（十亿美元）.............. - 27 -

图43、大陆半导体设备销售额当季值（十亿美元）.............. - 27 -

图44、晶圆处理设备销售额占比达到79%...... - 28 -

图45、2016 年大陆半导体设备分类销售情况............. - 28 -

图46、我国自制半导体设备规模上升，但占比下降.............. - 29 -

图47、2015 年大陆主要半导体设备进口情况............. - 29 -

图48、梅耶博格业务几乎覆盖光伏制造的全部工艺.............. - 32 -

图49、梅耶博格2016 年实现营收4.61 亿瑞郎........... - 32 -

图50、公司营收和扣非归母净利润（亿美元）.......... - 34 -

图51、应用材料研发费用与占比......... - 35 -

图52、晶盛机电业务布局........ - 35 -

图53、长川科技主营产品........ - 38 -

图54、至纯科技发展历程........ - 40 -

表1、全球前十大半导体厂营收排名（百万美元）......- 11 -

表2、全球前十大晶圆代工厂营收排名（百万美元）.............- 11 -

表3、大陆现有12 寸晶圆厂产能统计............. - 17 -

表4、国内处于规划与假设中的半导体晶圆厂不完全统计..... - 18 -

表5、各省市集成电路产业基金先后成立，规模达千亿......... - 19 -

表6、不同晶圆尺寸的晶圆厚度........... - 21 -

表7、2015 年全球前十大半导体设备供应商排名....... - 28 -

表8、2016 年中国半导体设备十强单位.......... - 29 -

表9、国内半导体设备主要厂家........... - 30 -

表10、国内外半导体设备水平差距..... - 30 -

表11、集成电路投资额估计..... - 31 -

表12、公司2017 年来重大合同/中标情况单位：万元............... - 37 -