半导体设备行业深度报告( 60 页)

---

目录

1. 我国半导体产业是集国家力量发展的大产业 ......... 7

1.1. 半导体行业垄断程度加剧，中国大陆无缘前20 强 ........ 7

1.2. 需求大增，产能有限，硅片涨价带动存储器涨价 .......... 9

1.3.受益于技术进步，半导体芯片应用领域扩大 ......... 11

1.4.全球半导体行业经历了三次产业大迁徙 ....... 12

1.5.追赶国外龙头，提高晶圆制造工艺是关键 ........ 15

2.设备国产化是必然选择.... 17

2.1.晶圆厂投资热潮带动上游半导体设备行业高增长 ......... 17

2.2.晶圆制造环节，关键设备国产化有待突破 ........ 18

2.3.国家政策与资金持续加码，设备投资占比尚低 ........ 20

2.4.半导体设备垄断程度高，国产设备差距大 ........ 22

3.大陆带动全球半导体投资大增，国产设备市场空间超百亿 .......... 24

3.1.中国大陆成为晶圆厂支出全球增长极，国产晶圆制造设备全面利好......... 24

3.2 国产晶圆制造设备，未来三年超百亿市场空间 ........ 28

3.3.从兴建中晶圆厂投资端测算........ 30

4.他山之石——全球半导体设备龙头研究 ........ 33

4.1.应用材料：全球第一的半导体设备厂商 ....... 34

4.2.LAM RESEARCH：全球半导体设备行业领先者 ....... 39

4.3.ASML：全球光刻机垄断者 ......... 42

4.4.奥宝科技：从PCB 转型到半导体行业的检测设备龙头 ...... 46

5.国内设备公司...... 48

图表目录

图表1： 2016 年全球半导体行业前 20 名，中国大陆无缘前 20 强 .......... 7

图表 2： 2008 年-2017 年全球半导体行业销售规模，处于增长态势 ........ 8

图表 3： 2008 年-2017 年我国集成电路产业进出口金额，约七成的集成电路产品依赖进口 ....... 9

图表 4： 自 2017Q1 起硅片连续涨价，预计涨价趋势将持续 ....... 9

图表 5： SUMCO 预估 2018 年 12 英寸硅晶圆涨价继续（单位：美元） ....... 10

图表 6： 受益于硅片量价齐升，硅片巨头信越化学（TYO: 4063）股价创历史新高 ....... 10

图表 7： 美光、海力士、南亚 DRAM 平均销售价格变动幅度 ....... 11

图表 8： 半导体制造工艺制程与技术方案演进情况 ....... 11

图表 9： DRAM、NAND FLASH发展蓝图 .......... 11

图表 10： 20 世纪 60 年代以来，半导体经历三次产业转移 ....... 13

图表 11： 到 2020 年底预计将有 17个 12 英寸晶圆代工厂投产，总数将达 117个 ....... 13

图表 12： 2014 年-2016 年全球智能手机前 14 强 ...... 14

图表 13： 国产手机占据全球手机市场半壁江山 ........ 14

图表 14： 英特尔公司单个芯片晶体管数目增长趋势验证了摩尔定律的有效性 ........ 15

图表 15： 半导体行业的硅晶圆尺寸的进化史 ....... 16

图表 16： 国际龙头半导体工艺制程 ....... 16

图表 17： 2018 年中国将成全球第二半导体设备市场（亿美元） .......... 17

图表 18： 中国半导体设备市场增长迅速 ....... 17

图表 19： 半导体芯片制造工艺流程 ....... 18

图表 20： 晶圆制造环节半导体设备配置，晶圆制造设备占比 80%，封测设备及其他设备占比 20%........ 18

图表 21： 2016 年全球晶圆制造类主要设备市场规模 （单位：百万美元） ........ 19

图表22： 2016年大陆半导体设备制造企业：IC设备份额......... 20

图表 23： 大基金承诺投资方向的主要比例，目前设备端仅占 8% ......... 21

图表 24： 《国家集成电路半导体产业发展推进纲要》的政策目标与政策支持 ........ 21

图表 25： 大基金主要投资方向和被投企业 ........ 22

图表 26： 全球前十大半导体厂商 ...... 23

图表 27： 我国前十大半导体厂商 ...... 24

图表 28： 2017 年全球晶圆设备支出........ 25

图表 29： 自 2013 年至今中国大陆晶圆厂设备支出增长....... 25

图表 30： 全球兴建晶圆厂数量，2018 年-2019 年将成为设备大举进场节点 ........ 26

图表 31： 全球晶圆制造设备销售额 2017 年达 450亿美元，同比+53.43% ........ 26

图表 32： 2016 年中国设备占全球设备空间的 4%，和中国市场的需求极其不匹配 ...... 26

图表 33： 晶圆制造环节对应设备，包括前端工序和晶圆加工 .......... 27

图表 34： 2018-2020 年国产半导体设备销量增速预计为 25%， 2020 年市占率可达 20% ......... 28

图表 35： 根据 SEMI 口径，我们预测国产晶圆制造设备市场空间 2018-2020 年 CAGR 为 87% .. 29

图表 36： 国内 12 寸目前新建的内外资 21条产线，其中 14 条有内资参与，利好国产化设备 30

图表 37： 晶圆设备需求量 2018-2020 年累计 387 亿，远超设备端测算 ........ 31

图表 38： 兴建晶圆厂端测算，国产晶圆制造设备需求量 2018 -2020 年 CAGR 为 59% .......... 32

图表 39：应用材料、LAM RESEARCH： 、ASML 主要产品及 2017 年公司总营收、净利润 ....... 33

图表 40： 2013-2017 年世界半导体设备市场销售额排名 ...... 34

图表 41： 应用材料公司历史大事件 ....... 34

图表 42： 应用材料公司的 OLYMPIA ALD 系统 ...... 35

图表 43： 应用材料公司主营业务 ...... 36

图表 44： 应用材料主要产品 ...... 36

图表 45： 应用材料 2013-2017 年营业收入及增速 ......... 36

图表 46： 应用材料 2013-2017 年净利润及增速 ........ 36

图表 47： 应用材料 2013-2017 年各部分营业收入（百万美元） ....... 37

图表 48： 应用材料 2017 年主营业务收入结构 .......... 37

图表 49： 应用材料公司 2013-2017 年分业务毛利率 ........ 37

图表 50： 应用材料全球市场 ...... 38

图表 51： 应用材料 2017 年全球各地区收入占比 ...... 38

图表 52： 2013-2017 年 AMAT销售收入地区分布 ...... 38

图表 53： 亚太地区逐年上升，美欧市场逐步压缩 ......... 38

图表 54： 泛林集团产品表.......... 39

图表 55： 泛林集团全球市场 ...... 41

图表 56： 泛林集团 2017 年全球各地区收入占比 ...... 41

图表 57： 泛林集团 2013-2017 年营业收入及增速 ......... 41

图表 58： 泛林集团 2013-2017 年净利润及增速 ........ 41

图表 59： 泛林集团参加 2018 年的 SEMICON CHINA ......... 42

图表 60： ASML 全球市场 ...... 43

图表 61： ASML2017年全球各地区收入占比 ........ 43

图表 62： ASML 光刻机的进化迭代 ........ 44

图表 63： 高端光刻机售价每台超一亿美元 ........ 44

图表 64： ASML EUV 型光刻机技术更新规划 ...... 45

图表 65： ASML 2013-2017 年营业收入及增速 ...... 45

图表 66： ASML 2013-2017 年净利润及增速 ....... 45

图表 67： 奥宝科技主要产品 ...... 46

图表 68： 奥宝科技 2016 年全球各地区收入占比 .......... 46

图表 69： 奥宝科技 2013-2017 年营业收入及增速 ......... 47

图表 70： 奥宝科技 2013-2017 年净利润及增速 ........ 47

图表 71： 奥宝科技各业务收入（百万美元） ....... 47

图表 72： 通过工艺考核与产线验证的国产重大装备统计 .......... 48

图表 73： 2013-2017 年收入复合增速达 84% ........ 49

图表 74： 2013-2017 年业绩复合增速达 67.5% .......... 49

图表 75： 2013-2017 精测电子营业收入情况 ........ 51

图表 76： 2013-2017 年精测电子归母净利润情况 .......... 51

图表 77： 2011-2017 年北方华创营业收入情况 ......... 52

图表 78： 2011-2017 年北方华创归母净利润情况 .......... 52

图表 79： 北方华创半导体设备产品线主要产品 ........ 52

图表 80： 2012-2017 年长川科技营业收入情况 ......... 54

图表 81： 2012-2017 年长川科技归母净利润情况 .......... 54

图表82： 2011-2018Q1 至纯科技营业收入情况 ......... 55

图表 83： 2011-2018Q1 至纯科技归母净利润情况 .......... 55

图表 84： 中微半导体刻蚀机模型 ...... 56

图表 85： 中微半导体最新 PRIMO NANOVA®刻蚀机 ...... 56

图表 86： 上海微电子 SSA600/20 90NM光刻机 ...... 57

图表 87： 盛美半导体 SMART MEGASONIX™清洗机 ......... 58