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1.3.1. NAND:3D 化技术+价格周期驱动,刻蚀设备需求大幅增加 ...... 9
1.3.2. DRAM:10nm+节点微缩放缓,设备成长与DRAM 价格周期高度相关 ....... 12
2.1. ASML:光刻设备龙头,深度受益EUV 垄断 .... 14
2.2. AMAT:平台化龙头,全球逻辑扩产最大设备供应商 .... 15
2.3. Lam:深耕刻蚀+沉积,全球NAND 扩产最大设备供应商 ..... 16
2.4. TEL:日系平台化龙头,先进逻辑扩产为近年主要增长引擎 ..... 17
2.5. KLA:半导体量检测设备龙头,逻辑收入CAGR2018-2022 高达48% .... 18
3.3.1. 市场预期一:终端需求何时再起? ..... 24
3.3.2. 市场预期二:先进工艺何时突破和放量? ....... 25
图1. 2009-2022 全球半导体市场销售额(亿美元)..... 5
图2. 半导体各产业链主要公司2009-2022 年营收复合增速对比 ...... 5
图3. FY2004-2022 全球头部半导体设备企业销售规模增长情况(亿美元)..... 6
图4. 2008Q3-2023Q2 台积电各工艺节点营收变化(亿美元)..... 6
图5. FY2006-2023E 台积电平均月产能及资本支出情况...... 7
图6. 不同制程逻辑芯片扩产对应半导体设备投资额(亿美元/万片月产能) ....... 7
图7. 逻辑扩产下ASML/AMAT/Lam/TEL/KLA 逻辑/代工营收增速对比 ....... 8
图8. 全球NAND 发展路线图 ..... 9
图9. 3D NAND 光刻/干法刻蚀/沉积环节制造设备市场规模预测...... 10
图10. 逻辑/DRAM/NAND 先进工艺阶段光刻机用量测算...... 10
图11. 2013 年至今NAND 价格周期与半导体设备企业NAND 相关收入周期对比...... 11
图12. DRAM 发展路线图.... 12
图13. 2011 至今DRAM 价格周期与半导体设备企业DRAM 相关收入周期对比.... 13
图14. 全球半导体设备格局综述 .... 14
图15. 2013-2022 年ASML 光刻设备系统收入各类设备贡献情况...... 15
图16. 2013-2022 年ASML 设备系统收入中存储/逻辑贡献情况....... 15
图17. CY2016-2022 年AMAT 营收产品结构及增速(亿美元,%)..... 16
图18. CY2010-2022 年AMAT 设备系统收入下游结构(亿美元)...... 16
图19. 3D NAND 结构及Lam Research 对应工艺产品组合.... 17
图20. CY2014-2022 年Lam Research 销售收入下游结构(亿美元)...... 17
图21. FY2016-2023 年TEL 营业收入情况(10 亿日元) .... 18
图22. FY2023 年TEL 半导体设备营收结构.... 18
图23. CY2016-2022 年TEL 半导体设备(SPE-设备)销售收入下游结构(亿日元)..... 18
图24. FY2005-2022 年KLA 总营业收入及增速(亿美元,%).... 19
图25. CY2017-2022 年KLA 半导体工艺控制设备销售收入下游结构(亿美元)..... 19
图26. 全球TOP5 中国大陆销售收入和国产半导体设备企业收入比例对比2018VS2022... 21
图27. 中芯国际2020Q1-2023Q2 各地区收入变化 ...... 24
图28. 中芯国际2020Q1-2023Q2 产能及产能利用率变化情况 .... 24
图29. 2019Q1-2023Q2 各季度ASML 中国大陆设备系统收入及占比情况.... 25
图30. 2019Q1-2023Q2 各季度ASML EUV 和ArFi 机台销售情况(台/套)...... 25
表1: 内资12 吋晶圆厂在建产线汇总(不完全统计,2023Q4 更新)..... 20
表2: 2018-2022 年国产半导体设备企业半导体相关营收情况及增速..... 21
表3: 主要半导体前道设备公司各产品线及客户拓展进展情况 ...... 22
表4: 全球TOP5 半导体设备企业和内资半导体设备公司产品布局对比 ....... 26
表5: 半导体设备板块重点关注公司盈利预测 .... 27
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